ACCRETECH SURFCOM 1400G-LCD Yüzey Pürüzlülüğü Ölçüm Cihazı
Cam alt tabaka, elektrostatik chuck ve wafer gibi geniş, ince parçalarda dalgalılık ve pürüzlülük ölçümü için hareketli tablalı sistem.
Üretici: Tokyo Seimitsu (ACCRETECH)
Stoğumuzdaki ürünleri atlasfor.com online mağazamızdan satın alabilirsiniz.
- Yetkili tedarikçi
- 1983'ten beri
- Teknik destek ve ürün seçimi
Açıklama
ACCRETECH SURFCOM 1400G-LCD Yüzey Pürüzlülüğü Ölçüm Cihazı: SURFCOM 1400G-LCD, cam alt tabakalar, elektrostatik tutucular (chuck) ve wafer gibi geniş yüzeyli ince iş parçalarında dalgalılık, yüzey pürüzlülüğü ve seviye farkını ölçmek için tasarlanmış bir yüzey pürüzlülüğü ölçüm cihazıdır.
Genel yüzey pürüzlülüğü ölçüm cihazlarında dedektör (algılayıcı) tarafı X ekseninde hareket ederken, SURFCOM 1400G-LCD'de iş parçasının yüklendiği tabla tarafı X ekseninde hareket eder. 300 mm'yi aşan geniş tarama aralığı ile yüksek X ekseni doğruluğunu bir arada sunarak dalgalılık, pürüzlülük ve seviye farkı için güvenilir sonuçlar verir.
Dedektör tutucu bölüm Y ekseninde hareket ettirilebildiğinden iş parçası üzerindeki farklı noktalara kolayca erişilir ve birden fazla hat boyunca dalgalılık ve pürüzlülük değerlendirilebilir. Cihaz, cam alt tabaka ve elektrostatik chuck ölçümlerinde çok sayıda kullanım referansına sahiptir.
İş parçasına uygun yükleme plakası, motorlu Y ekseni, elektrostatik chuck kabartmaları gibi ince detaylar için ölçüm pozisyonu doğrulama ünitesi ve otomatik yeniden deneme fonksiyonu gibi özelleştirmeler sunulur.
Öne çıkan özellikler
- Geniş yüzeyli ince iş parçaları için hareketli tabla yapısı
- 300 mm'yi aşan tarama aralığı ve yüksek X ekseni doğruluğu
- Y ekseninde hareketli dedektör tutucu ile çoklu hat ölçümü
- Dalgalılık, yüzey pürüzlülüğü ve seviye farkı değerlendirmesi
- 300 × 250 mm, 500 × 500 mm ve 650 × 650 mm ölçüm aralığı tipleri
- İhtiyaca göre özelleştirilebilir yapı
Uygulama alanları
- Cam alt tabakalar
- Elektrostatik tutucular (chuck)
- Wafer
- Yarı iletken ve elektronik bileşen üretimi
Modeller ve teknik veriler
| Özellik | 300 × 250 mm tipi | 500 × 500 mm tipi | 650 × 650 mm tipi |
|---|---|---|---|
| X ekseni ölçüm aralığı | 300 mm | 500 mm | 650 mm |
| Y ekseni ölçüm aralığı | 250 mm | 500 mm | 650 mm |
Opsiyonlar
| Opsiyon | Açıklama |
|---|---|
| Loading plate | İş parçasına uygun yükleme plakası |
| Y-axis motorized drive | Motorlu Y ekseni tahriki |
| Measurement position confirmation unit | Elektrostatik chuck kabartmaları gibi ince detayları doğru ölçmek için ölçüm pozisyonu doğrulama ünitesi |
| Auto-retry function | Ölçüm hattını Y ekseninde ince ayarlayarak kabartma çapı ölçülene kadar otomatik yeniden ölçüm |
Sık sorulan sorular
SURFCOM 1400G-LCD hangi iş parçaları için uygundur?
Cam alt tabakalar, elektrostatik chuck'lar ve wafer gibi geniş yüzeyli ince iş parçaları için uygundur.
Hangi ölçüm aralıkları mevcuttur?
300 × 250 mm, 500 × 500 mm ve 650 × 650 mm (X × Y) tipleri bulunur.
Fiyat ve teslim süresi nasıl öğrenilir?
Ürün sayfasındaki FİYAT AL sekmesinden ya da Ata Teknik satış ekibinden teklif alabilirsiniz.
