Renishaw RLE İnterferometrik Lazer Enkoder Sistemi
Yarı iletken ve hassas hareket kontrolü için fiber iletimli, modüler RLE100, RLE200 ve RLE300 interferometrik lazer enkoderler.
Üretici: RENISHAW
Stoğumuzdaki ürünleri atlasfor.com online mağazamızdan satın alabilirsiniz.
- Yetkili tedarikçi
- 1983'ten beri
- Teknik destek ve ürün seçimi
Açıklama
Renishaw RLE İnterferometrik Lazer Enkoder Sistemi: RLE, yüksek doğrusallık ve ölçüm kararlılığı sunan, yüksek performanslı hareket kontrolü ve ileri yarı iletken üretim uygulamaları için geliştirilmiş interferometrik lazer enkoder sistemleri ailesidir.
İnterferometrik lazer enkoderler lineer pozisyon geri beslemesinde en yüksek doğruluğu sağlar. Renishaw lazer enkoderlerinde optik fiber iletim sistemi, lazer ünitesinin uzağa monte edilmesine imkan verir ve lazerin hareket sistemi üzerindeki termal etkisini ortadan kaldırır.
Yeni nesil aile RLE100, RLE200 ve RLE300 sistemlerinden oluşur. Her sistem, optik fiberler ve veri kablolarıyla bağlanan bir RLU lazer ünitesi ile bir veya iki dedektör kafasından oluşur. RLE100 havada çalışan uygulamalar için RLE10'un doğrudan halefidir; RLE200 özellikle vakum ortamları için RLE20'nin yerini alır ve otomatik alt bölüntü hatası (SDE) düzeltmesi içerir; RLE300 en zorlu yarı iletken uygulamaları için daha yüksek metroloji performansı sunar.
Modüler tak-çalıştır mimarisi sayesinde lazer üniteleri, dedektör kafaları ve fiber düzenekleri bağımsız olarak birleştirilebilir. Sökülebilir optik fiberler lazer ünitesinin kurulu fiberlere ve dedektör kafalarına dokunmadan değiştirilmesini sağlar; değişim tipik olarak birkaç dakikaya iner ve yeniden hizalama gerekmez. Yeni enkoderler mevcut mekanik montaj düzenleriyle uyumludur.
Öne çıkan özellikler
- Optik fiber iletimle uzağa monte edilebilen lazer ünitesi
- Gelişmiş frekans kararlılığı ve düşük pozisyon gürültüsü
- Homodin algılama: düşük gecikme, yüksek hız, ivme sınırı yok
- Sökülebilir fiberler ile dakikalar içinde lazer ünitesi değişimi
- Tak-çalıştır modüler yapı: her lazer ünitesi her dedektör kafasıyla çalışır
- RLE10 / RLE20'ye göre iki katına çıkan çalışma aralığı
- Gelişmiş diyagnostik ve durum izleme arayüzü
- RLE200'de otomatik SDE düzeltmesi
- Mevcut RLE10 ve RLE20 montajlarıyla uyumlu yükseltme
Uygulama alanları
- İleri yarı iletken üretimi
- Yüksek performanslı hareket kontrolü
- Vakum ortamında pozisyon ölçümü (RLE200)
- Çok eksenli ve çok serbestlik dereceli ölçüm konfigürasyonları
Sürümler ve seçenekler
| Sürüm | Açıklama |
|---|---|
| RLE100 | RLU100 lazer ünitesiyle, havada çalışan uygulamalar için; RLE10'un halefi |
| RLE200 | RLU200 lazer ünitesiyle, özellikle vakum ortamları için; otomatik SDE düzeltmeli, RLE20'nin yerini alır |
| RLE300 | RLU300 lazer ünitesiyle, en zorlu yarı iletken uygulamaları için en yüksek performans |
Teknik veriler
| Özellik | Değer |
|---|---|
| Açısal çalışma aralığı | ±400 µrad |
| Lineer çalışma aralığı | 2 m |
| Dedektör kafası sayısı (sistem başına) | 1 veya 2 |
| Dedektör kafası tipleri | Diferansiyel interferometri (DI), düzlem ayna interferometri (PMI) |
| Lazer üniteleri | RLU100, RLU200, RLU300 |
Sık sorulan sorular
RLE sistemleri hangi bileşenlerden oluşur?
Her RLE sistemi, optik fiberler ve veri kablolarıyla bağlanan bir RLU lazer ünitesi ile bir veya iki dedektör kafasından oluşur.
Yeni RLE enkoderler eski RLE10 ve RLE20 ile uyumlu mu?
Evet, mevcut mekanik montaj düzenleriyle uyumludur ve RLE10 / RLE20'den kolay yükseltme sağlar; çalışma aralığı ±400 µrad açısal ve 2 m lineer olarak iki katına çıkmıştır.
Fiyat ve teslim süresi nasıl öğrenilir?
Ürün sayfasındaki FİYAT AL sekmesinden ya da Ata Teknik satış ekibinden teklif alabilirsiniz.
